TY  - JOUR
TI  - 溅射靶材用铌材的电子束熔炼提纯杂质去除机理研究
AU  - 李欣琳
AU  - 任军帅
AU  - 成佳鹏
AU  - 高婷
AU  - 薛少博
JO  - 冶金与材料
PY  - 2024
IS  - 9
SP  - 63
EP  - 67
SN  - 2096-4854
AB  - 文章采用真空电子束熔炼的方式，对溅射靶材用铌材进行多次提纯。应用GDMS的方法对熔炼后的铌锭端面、中部以及底部杂质含量进行检验，判断铸锭不同位置杂质脱除情况。结果显示，铸锭杂质脱除率与饱和蒸气压差存在对应关系，间隙元素C、N、O主要是以气体形式直接挥发去除，非间隙元素Fe、Si元素含量在铸锭轴向从上到下逐渐减少，Mo、Ta、W、Zr四种元素在铸锭轴向上分布区别并不明显。熔炼后，Ta、W元素含量与原料相比没有变化，Mo、Zr元素含量显著比原料低，非间隙元素为蒸发和定向凝固协同控制脱除机制。
KW  - 溅射靶材
KW  - 铌
KW  - 电子束熔炼
KW  - 杂质去除
UR  - https://journal.zazhitong.com/yjycl/articles/2108474157333086209
ER  -