TY  - JOUR
TI  - 微构件弯曲加载机构结构总体方案设计
AU  - 高美玲
JO  - 冶金与材料
PY  - 2018
IS  - 6
SP  - 113
EP  - 113
SN  - 2096-4854
AB  - 随着微机械的发展,实际时对应机械微构建不但要实现功能性设计,还需要考虑材料特性参数对设计部件的影响,而微构件力学特性数据对MEMS机构设计具有重要影响,因此需要一种可以获取微构件力学特性的测试方法。文章以微梁弯曲法为基础,建立适用于微机构力学特性测量方法的基本模型,为今后维纳力学特性的高准确度测量研究与开发提供研究基础。
KW  - 微机械
KW  - 材料力学
KW  - 弯曲法
UR  - https://journal.zazhitong.com/yjycl/articles/2108474117478809601
ER  -